安科瑞 劉邁

　　在 AI、新能源汽車等下游產業帶動下，國內半導體行業進入快速擴產周期，大批晶圓廠、芯片制造廠房陸續開工建設。半導體制造屬于高能耗產業，一座 12 英寸晶圓廠年用電量可達數億度。同時在雙碳政策推動下，綠色工廠、能耗限額、碳排放管控也成為新建廠房需要落實的硬性要求，對廠區整體供配電體系提出更高標準。

　　一、半導體廠房配電面臨的現實痛點

　　半導體廠房 7×24 小時不間斷生產，配電系統面臨多重現實難題。首先供電可靠性要求高，供電可用率需要達到 99.999%，短暫的電壓擾動就可能造成整批晶圓報廢，帶來大額經濟損失。其次工藝設備對電能質量十分敏感，電壓暫降、諧波、閃變等問題，都會影響光刻、刻蝕設備正常運行，需要滿足 SEMI F47 相關行業規范。另外廠房負荷密度大，110kV/35kV/10kV 多級配電架構復雜，站內監控點位繁多，傳統人工巡檢很難及時發現開關柜發熱、絕緣老化等隱蔽隱患，運維壓力較大。

　　二、安科瑞半導體廠房中高壓配電解決方案

　　針對半導體廠房變電站場景，安科瑞打造適配 110kV、35kV、10kV 等級的中高壓配電解決方案，整套硬件設備數據統一接入安科瑞半導體能效管理平臺，實現遙測、遙信、遙控、遙調功能，守護從高壓進線到工藝設備的電力鏈路安全。

　　安科瑞電力監控系統

　　作為整套方案的管理中樞，電力監控系統匯聚保護、監測類設備的全部數據，以一次接線圖可視化展示全站運行狀態。可以實時采集電壓、電流、功率、開關分合狀態，完成事件告警、故障錄波、事故追憶，支持 Web 端、移動端多方式訪問。針對半導體廠房，系統可以接入變壓器、UPS、柴油發電機等關鍵設備數據，發生異常及時推送告警，改變傳統現場人工巡檢模式，為故障溯源、運維調度提供數據底座。

　　1.AM 系列微機保護測控裝置

　　覆蓋 AM2SE、AM3SE、AM5SE、AM6SE 多個型號，適配環網柜、10kV 變電所、110kV 主變電站不同層級。可以完成線路、變壓器、電容器、電動機的保護與測控，包含差動保護、備自投、PT 監測消諧等功能，發生故障時快速判別、切除故障回路，避免故障范圍進一步擴大，守護變電站一次設備安全。

　　2.APView 系列電能質量監測裝置

　　包含 APView350、APView400、APView500 多款型號。可對諧波、間諧波、電壓波動閃變、三相不平衡做穩態監測，同時捕捉電壓暫升、暫降、短時中斷等暫態事件，完成暫降源定位、故障錄波，生成電能質量評估報告，滿足半導體廠房對于毫秒級電能擾動事件的記錄與溯源需求，也可以支撐電網驗收工作。

　　3.ARB 系列弧光保護裝置

　　分為 ARB6 集中式與 ARB4 饋線式。搭配無源光纖弧光探頭，感知開關柜內部電弧光信號，支持單判據、電流?弧光雙判據模式，實現毫秒級跳閘，同時可以定位故障位置；裝置還會對探頭、光纖鏈路做自檢，適用于高壓母線室、電纜室，規避弧光短路帶來柜體燒毀、人員受傷的風險。

　　4.ASD 系列智能操控裝置

　　安裝于高壓開關柜面板，集成一次回路模擬圖、開關狀態顯示、溫濕度控制、帶電顯示等功能。直觀展示柜內設備運行狀態，配合無線測溫模塊采集斷路器觸頭、母排接頭溫度，出現超溫及時發出告警，降低接點過熱引發停電故障的概率。

　　5.APD 系列局部放電監測裝置

　　包含 APD100、APD300?L、APD300?W 等型號，針對高壓開關柜內部絕緣潛伏性隱患開展在線監測。依托特高頻、地電波、超聲波多維度傳感器，捕捉開關柜內部微小局部放電信號，識別絕緣老化、氣泡、雜質等缺陷，輸出放電幅值、放電頻次數據，具備 PRPD 圖譜分析，異常及時上報告警，把絕緣故障消滅在萌芽階段，適配半導體廠房長時間連續運行的設備狀態檢修需求。

　　6.ARTM 系列無線測溫裝置

　　由接收顯示終端搭配無源無線測溫傳感器組成，對高壓柜母排搭接點、斷路器觸頭、電纜接頭、變壓器接線端等大電流接點進行 7×24 小時在線溫度采集。可設置超溫、溫升突變告警閾值，溫度數據通過 RS485 上傳至電力監控后臺，解決密閉柜內人工紅外巡檢無法實時監測的問題，降低接點過熱引發停電事故的概率。

三、結語

　　半導體廠房的中高壓變電站，是整個廠區電力供應的第一道關口，保護、監測設備的穩定運行直接關系產線生產連續性。安科瑞半導體廠房中高壓配電解決方案，依托電力監控系統作為統一管理載體，搭配微機保護、電能質量監測、弧光防護、開關柜狀態監測硬件，圍繞行業高可靠、高品質電能的實際需求，兼顧故障防護、電能質量監測、狀態預警與集中運維，助力半導體廠房實現供電安全保障，同時滿足能耗、碳排放相關政策合規要求。